压电薄膜传感器论文

取向织构氮化铝薄膜的制备
一、〈101〉取向织构氮化铝薄膜的制备研究（论文文献综述）冯锦聪[1]（2021）在《柔性外延ZnO薄膜的压电特性研究》文中进行了进一步梳理随着5G时代的到来,物联网技术飞速发...