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一种新型动态位移传感器——球秤
一、一种新型的动态位移传感器——球栅尺(论文文献综述)张雪鹏,蔺春波,吴宏圣[1](2014)在《基于JC09光栅尺位移传感器的光栅副间隙分析》文中研究说明基于JC09光栅尺位...