靶材论文

等离子蚀刻剖面的数值研究
一、等离子体刻蚀轮廓的数值研究（论文文献综述）王旭锋[1]（2021）在《MRAM关键刻蚀工艺优化及其终点预测方法的研究》文中提出磁随机存储器（MRAM）是一种基于电子自旋性质...