一、MEMS亟待解决的七个问题（论文文献综述）
李红娟[1]（2021）在《国有企业混合所有制改革实践问题研究》文中研究说明当前,我国国企混合所有制改革呈现"提效率""扩范围""深融合"的发展态势,在改革实际操作层面上还存在诸多的难点、困惑和体制机制层面上的障碍和问题,例如实施规则不明确、执行无依据,混改程序规范性不强,对于战略投资者如何选择缺乏原则和标准,如何设置股权比例不清晰,员工持股、市场化用人激励约束机制不健全、改革容错免责机制等配套制度和市场化经营机制未能有效建立等。本课题研究以需求为依据,以目标为导向,围绕破解混改实践中面临的突出问题,深入分析论证并提出应对之策,为推进国企混改向纵深发展提供借鉴参考。
闫娜[2]（2019）在《基于智能终端的行为识别方法研究》文中研究指明行为识别是计算机领域热门的研究课题,其已经在不同领域实现了新颖的应用,例如医疗保健、安全和娱乐。随着信息时代的快速发展,微型机电系统（MEMS）技术不断发展和微型传感器的推出,智能终端逐渐成为研究行为识别的有力工具。利用智能终端进行行为识别的方法具有易携带、高鲁棒性和不影响用户正常生活等特点。由于智能终端中的传感器可以检测用户的运动数据,因此,可以利用智能终端来提高识别准确率。然而,该行为识别方法依然存在识别率比较低的问题,特别是相似活动的识别率更低,计算复杂度略高,这些问题都导致识别系统实用性不高。因此,为了能够进一步解决以上问题,本文做了相关的研究,并提出了相应的解决方案。针对行为识别中相似活动的识别率不高问题,本文提出了一种基于智能手机的相似活动的识别系统。本文先通过公式将三维的加速度数据转换为五维向量,提高数据的有效性。之后利用特征提取和特征选择算法获得最优特征集。最终,利用多层感知分类器进行最分类识别。实验结果表明,本文提出的模型识别的平均准确率为99.2%,比一般的研究成果的准确率提高了约3%。相似活动的准确率提高了约5%。针对行为识别中跌倒检测的准确率不高、误报率较高的问题,本文在阈值检测法的基础上,提出了阈值检测和机器学习检测相结合的混合法。先对活动进行一个预判断,若满足条件,则预判为跌倒,并将预判为跌倒的行为再利用机器学习进行进一步分类。反之,预判为日常活动,继续监测。实验结果表明,此方法不仅提高了识别的准确率,减少误报率,并且降低了算法的复杂度。
郭亚杰[3]（2015）在《表面微结构对表面润湿性和粘附性影响的分子动力学研究》文中研究表明自然界中的神奇现象给科学研究许多启示,如“莲花效应”是由于叶子表面的超疏水性,而荷叶上特殊的微纳级突起被认为与其超疏水特性密切相关,壁虎能够自由在天花板上行走是由于脚底超强的粘附力,而其脚底极细小的刚毛与其特殊的粘附特性直接相关。随着纳米机械的发展,润湿和粘附不可避免地影响到微纳器件的设计制造及其工作性能,研究表面微结构对表面润湿性和粘附性的影响,有助于提高人们对润湿和粘附原理的理解,对纳米机械制造具有一定的指导意义。本文采用分子动力学的方法建立了硅表面润湿模型,采用条纹状、网格状和凸台状3种不同的表面微结构,探讨了水滴在表面上的扩散方向问题,以及微结构尺寸对表面润湿性的影响。研究结果表明,表面微结构宽度存在临界宽度值,当微结构宽度小于临界宽度时表面表现为疏水性,反之,亲水性增强;在疏水性表面上,水的铺展性表现为各向同性,水滴稳定后俯视图近似为圆形,在亲水性表面,水的铺展性表现为各向异性,表面微结构形状不同,水滴稳定后呈现不同的特殊形状。本文还用分子动力学方法建立了探针与基底表面的粘附力测量模型,采用润湿模型中的3种表面微结构,探讨了表面微结构的尺寸和形状以及表面水膜对表面粘附性的影响。研究结果表明,表面微结构主要减小了最大粘附力,微结构形状和尺寸对最大粘附力都有影响,其中凸台状微结构尺寸变化对最大粘附力影响最为明显。表面水膜的存在将显着降低最大粘附力。本文研究了不同尺寸、不同形状表面微结构条件下的表面润湿特性和表面粘附特性,并探索了其现象产生的机理,所做研究对改善纳米机械生产制造中的润湿和粘附问题提供了理论依据。
霍元正[4]（2015）在《MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿技术的研究》文中提出MEMS （Micro Electromechanical System）陀螺仪相比于其他类型的陀螺仪,具有体积小、功耗低、成本低、质量轻、易集成以及生产批量大等优点。由于MEMS陀螺仪具有上述优势,已经在众多民用领域得到广泛应用,如汽车导航、汽车安全气囊脱扣装置、拍照摄像设备的防抖动平台、机器人姿态测量系统、电子玩具、虚拟体感游戏等。在军事领域,可以预见未来的武器系统、无人机等侦查设备必然向着数字化、智能化、小型化和高机动化发展,因此MEMS陀螺仪具有巨大的发展潜力和价值。但是MEMS陀螺仪的测量精度相对较低,这成为微小型导航系统、制导与控制系统等关键技术的发展瓶颈。解决这一问题的途径有两种：第一,从硬件内部结构上针对性地进行分析；第二,从软件层面入手,从算法角度处理。MEMS陀螺仪的随机漂移误差问题是提升测量精度这一课题的重要研究内容。本文从软件层面入手,研究了MEMS陀螺仪的静态输出噪声特性,就MEMS陀螺仪的随机漂移误差补偿技术展开研究。本文介绍了MEMS陀螺仪的若干性能指标,搭建了MEMS陀螺仪漂移数据采集系统,用Allan方差方法对MEMS陀螺仪噪声特性进行了分析。对MEMS陀螺仪输出的非平稳数据进行了预处理,应用拉伊达准则去除奇异点,通过逐步回归方法拟合漂移趋势,将其转换为平稳、零均值的随机漂移数据。根据自相关系数ACF、偏相关系数PCF、AIC等准则选取了时间序列模型和参数,采用基于自回归AR模型的线性离散系统的卡尔曼滤波方法对MEMS陀螺随机漂移进行补偿,MATLAB仿真及Allan方差计算结果表明,该方法能够有效地抑制漂移误差达50%。针对基于自回归AR模型的线性离散系统的卡尔曼滤波方法的不足,应用了AR与SVM（Support Vector Machine）支持向量机混合模型方法。用AR模型描述随机漂移数据中的线性部分,用SVM支持向量机方法对非线性数据进行处理,经过归一化处理、相空间重构、数据训练及数据预测验证等一系列步骤,计算Allan方差及其它性能指标,结果表明：应用AR与SVM支持向量机混合模型方法能够有效抑制漂移误差80%以上,相比于基于时间序列的卡尔曼滤波方法,具有更为良好的去噪效果。
赖添茂[5]（2014）在《基于接触几何的微纳米尺度下的粘着研究》文中研究说明随着微纳米装置和仪器的快速发展，微纳米尺度下的粘着变得越来越重要。小尺度的机械系统有较高的表面积-体积比，所以更多地受到表面效应而非惯性效应的影响。粘着力是微机电系统（MEMS）在制造和使用中失效的一个主要原因。MEMS的进一步实用化和微型化，都迫切地需要研究和控制粘着力。本文在接触几何的基础上，建立了单峰接触粘着模型，利用原子力显微镜研究了两表面间的粘着、特殊结构表面的粘着和类金刚石膜的减粘效应。本文的主要研究内容如下：（1）精确的接触几何对于粘着的量化计算至关重要，为此本文建立了单峰接触粘着模型。在粗糙峰和随机表面光滑性假设的基础上，通过微分几何曲面论获得每一点的主曲率。在曲面当前点的一级近似下，把曲面与粗糙峰的接触等价地转化成一个刚性平面和弹性椭圆抛物面间的接触。这种转化保持了原有的接触区间隙和弹性变形性质。随后，通过连续介质接触力学理论和Hamaker方法，用数值方法来求解曲面上每一点的接触面积和粘着力。最后本文给出了两个算例，说明模型在一定程度上是可行的。（2）为了研究两平面间的粘着和避免针尖磨损，本文采用针尖直径约为1.7μm的平头探针。实验采用的样品是硅片、石英和蓝宝石。实验分别在潮湿的空气中、高纯干燥氮气中（手套箱中）、蒸馏水中和氯化钾溶液中进行。研究表明，真实接触面积只占表观接触面积的很小一部分。热力学表面自由能并不能预测两表面间粘着力的大小。用原子力显微镜测量粘着力的稳定性和重复性取决于样品特征、测量参数和环境。不同环境下，对粘着力有影响的相互作用和因素有所不同，各相互作用和因素之间相互耦合决定了最终的粘着力。（3）为了研究温度对粘着的影响，实验采用的接触几何是平面与粗糙表面的接触。实验分别在潮湿的空气中和高纯干燥氮气中进行。样品温度从30°C变化到200°C。结果表明，200°C以内的温度对探针微悬臂的法向弹性系数的影响基本可以忽略。在这个温度范围内，每一温度下的粘着力分布都是正态的。在高纯干燥氮气中，粘着力随着温度的升高而持续下降。但在潮湿的空气环境下，随温度的升高，粘着力先增大，在约100°C时达到最大值，接着开始下降。在下降的过程中，开始较为缓慢，在150°C附近，粘着力急剧下降，并在高温区保持较平稳的状态。（4）在潮湿的空气中和高纯干燥氮气中，我们研究了尖探针、平头探针和小球探针与周期性绝缘表面接触时的粘着行为。结果表明：粘着行为极大地依赖于接触几何、表面形貌和环境，并且这三个因素是共同作用来决定最终的粘着力的。在同一点的多次测量中，多峰接触时的粘着力都出现了分层的现象。在手套箱中不除静电的情况下和在空气中，粘着力在各层逐渐增加，并有层间跳跃的现象。粘着力的增加起因于静电荷的积累和毛细弯月面半径的增大。静电荷只有在接触-分离之后才增加，并且具有累加效应，当达到饱和后，粘着力将表现得平稳。在手套箱中除静电的情况下，粘着力各层的变化不大。在利用小球探针时，我们还发现粘着来源的不同会导致同一点粘着力在区间段上的波动情况不同。具体情况是：有静电时，波动较小；去静电时，波动最大；空气中，波动最小。（5）在空气中和高纯干燥氮气中，基于不同的接触几何，我们研究了掺杂金属的类金刚石（DLC）膜的减粘效应。结果发现，在不同的接触几何和环境下，DLC膜都可以有效地减小粘着力和磨损。粘着力的减小原因是表面能的降低和DLC膜对水的接触角的增大。粘着力的减小幅度与接触几何、DLC膜的粗糙度、与DLC膜配对的材料特性和所处的环境都密切相关。并且，这些因素是共同作用来决定最后的粘着力减小幅度的。
朱应敏[6]（2013）在《MEMS开关关键技术研究》文中研究指明MEMS开关中,受表面效应的影响,黏着力对开关触点的工作可靠性有极大的影响。本文以固体力学、弹塑性力学和黏着力学为基础,建立触点微／纳米量级的弹性和塑性接触模型;基于量子力学研究了触点的隧道电流机理,建立了在弹-塑性变形条件下粗糙表面触点间的隧道电流和接触电阻计算模型；基于机电动力学原理设计了一种永磁微加速度开关。研究内容如下：（1）基于Lennard-Jones势能定律和Hamaker假设,通过积分方法得到球体与平面间的黏着力,结合经典弹性理论计算了纳米级刚性球体和弹性平面的黏着接触变形,对常见金属触点材料在弹性接触时接触力、接触变形、接触面积等参数的变化规律进行了仿真分析。（2）对污染触点进行了接触研究,模拟分析了金表面沉积碳膜后,触点的弹性接触力、接触变形、接触面积等参数的变化规律。（3）建立了表面黏着接触应力计算模型。采用von Mises强度理论研究弹性平面屈服问题,得到了塑性变形区域和塑性变形量。（4）给出了弹性和塑性区域的变形准则,基于该准则模拟分析球体下压过程中球-面间隙和接触面积的变化规律。以Au材料为例,计算了球体下压过程中材料的应力-应变关系并得到Au材料的微观屈服极限。（5）建立了触点塑性接触模型,基于该模型对清洁和污染触点接触过程中接触压力、接触应力、表面变形量及接触面积等参数的变化规律进行了仿真分析,得到了接触表面的引力区域、斥力区域；弹性变形区域和塑性变形区域。（6）基于隧道电流密度计算公式,推导了刚性球形触点趋近刚性平面时隧道电流和接触电阻的计算公式,并进一步给出了刚性接触时触点的收缩面积和截面收缩率随触点间隙的变化规律。（7）建立了刚性球形触点和弹-塑性平面电接触的计算模型,研究了弹性和塑性变形对触点的接触力、隧道电流、接触电阻的影响。（8）将触点表面微丘的曲率半径和高度误差量按照正态分布选取,建立了粗糙表面电接触模型；研究了微丘半径,高度误差和微丘数量对接触电阻的影响。得到典型触点接触电阻随接触力及接触压强变化的规律。（9）给出一种永磁微加速度开关的结构设计方案,提出了该开关的静态设计原则。建立了微型运动平板间空气阻尼的计算模型。推导了MEMS微平面机构所受的空气阻尼力和阻尼系数的解析公式。（10）基于典型粗糙表面电接触计算模型,给出了触点稳定工作时接触压力-接触电阻和电流-电压关系曲线。（11）建立了开关动力学分析模型,对开关在激励下的工作响应进行了仿真。
韩成成[7]（2013）在《新型Z轴差分电容式加速度传感器研究》文中指出微机械加速度传感器克服了传统机械传感器的诸多缺点，而在许多领域得到了广泛的应用，其中，电容式加速度传感器因其高灵敏度、低温度漂移等特点备受瞩目。本文针对电容式加速度传感器设计中Z轴易出现耦合干扰及分析不够精确这一现象，对Z轴差分电容式加速度传感器进行了详细的分析研究。首先，文章介绍了MEMS的基本概念、特点、技术背景和国内外的研究发展现状，分析了传统电容式加速度传感器理论模型的不精确性，从而选择完全差分电容结构，分析了电容式加速度传感器的结构特点，从而选择梳齿结构作为检测电容的极板。并且构建了更精准的模型以解决非敏感方向加速度而产生的小幅扭转对检测带来的影响。其次，根据选定的梳齿结构，分析其受力情况。主要讨论了卡西米尔力的大小和其对MEMS加速度传感器的影响，确定了卡西米尔力产生影响时的梳齿规格；分析了静电力作用下各种电容器的电容量，边缘效应的近似量和对电容值的影响，确定了边缘效应产生影响时的梳齿规格。根据这两种力的论证分析，为下一步确定梳齿尺寸消除卡西米尔力和边缘效应的影响、简化运算做准备。然后，简单介绍了集成电路的工艺基础和MEMS常见的加工工艺，包括表面加工、体硅工艺、LIGA、CMOS-MEMS工艺等，为后续样片制备作好准备工作。最后，通过上述的分析确定了Z轴完全差分电容式加速度传感器的交错梳齿结构，分别对其在各方向加速度作用下发生的偏转建模并求解，根据所得结论进行结构的优化设计，使得传感器在设计的量程范围内达到最佳检测效果。利用Ansys进行的模拟分析，得到的该传感器的灵敏度为0.37fF/g，共振频率为4615Hz，能够在大多数工作环境中良好的运行。
任凯天[8]（2012）在《基于惯性传感系统的人员行进分析及位移计算》文中指出室内定位是当前信息学科研究的热点。当前提出了很多解决上述问题的方法，其中利用微机电机械系统（MEMS）测量人员动作状态，进而实现定位功能的方法是其中重要的一类。本文就基于MEMS实现室内定位问题进行了深入的研究。为了实现对标准步行这一最常见动作的分解，本文首先将MEMS分别置于人体的腿部和腰部进行数据采集，然后对得到的参数进行分析处理。利用所得参数的特点，通过加速度和角速度识别完整步行过程。将MEMS置于腿部和腰部时得到的加速度值、角速度值进行比较，互相验证了步行动作的分解过程及参数分布规律。同时，本文统计了静止和标准步行模式下磁力数据，对磁力数据的分布进行分析解释，并据此给出了行进方向的判断方法。通过将MEMS置于人体小腿部采集惯性参数、分割连续步行过程为多个单步、计算单步步长值并累加的方法可以得到总行进位移。本文首先给出了这种算法的详细计算原理并进行了大量的实验，进行了算法重现和验证；然后对算法中参数的选择进行了验证，并分析了相应的结果；最后在标准条件下测试验证了这种算法的精度。在获得移动位移值的基础上，证实了通过计算垂直方向位移值可验证行进位移计算结果。针对倒单摆模式的限制对计算结果的影响进行了实验并对实验结果进行了分析，给出了这种算法的优缺点和局限性。针对腿部不易携带MEMS的缺点，本文提出了将MEMS置于腰部来计算步行位移值的算法。通过分析人体移动时腰部移动轨迹，将行进过程准确的分割为单步过程，再利用算法得到单步步长值。论文对算法的正确性进行了大量的实验验证。结果表明，该算法所得单步步长值和步行总位移的计算结果精度良好，所提方案可在室内定位等领域应用。对于人员行进中的上楼、下楼动作与标准步行动作的识别问题，本文采用支持向量机（Support Vector Machine，SVM）区分上楼、下楼和标准步行动作。本文对上楼、下楼动作和标准步行动作进行了数据采集、动作分析和特征提取，并针对相应参数的特点，进行了三者的区分。结果表明，利用SVM可以有效地区分上楼、下楼和标准步行动作。
任凯天,刘昱,汪少初[9]（2012）在《基于腰部移动模型的行走步长计算方案》文中认为针对行走时腰部运动轨迹的特性,提出了一种利用微电子机械系统（micro-Electrical-mechanical systems,MEMS）计算行进位移的方案。这种方法将MEMS置于腰部,利用MEMS采集测试者行进过程中的加速度和角速度数据。6名测试者参加了实际环境中的测试,每位测试者进行了8次实验,每次实验的行进速度为测试者自己选择的最习惯的行进速度,全部实验在一个长度为47 m上的直线走廊上进行。对采集到的数据进行处理和计算,得到位移的计算长度并与实际长度进行比较和分析。实验结果表明该方法计算单步步长和步行位移结果精度良好,计算结果误差小于6.4%,且MEMS置于人体腰部携带方便,所提出的方案可在室内定位等领域获得具体应用。
王正微[10]（2012）在《MEMS纳米接触的多尺度分析》文中提出微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）是将电子和机械部件集成在一起的一种微型集成设备或系统，能够在纳观尺度下单独执行或同时执行驱动、感知和控制等功能。与传统机械系统不同，表面效应在MEMS中占主导地位，粘着和摩擦是决定MEMS性能和可靠性的重要因素。粘着是MEMS中的一种主要的失效形式，也是造成MEMS低合格率的主要原因。粘着接触问题的研究对MEMS的设计与使用具有重要的意义，本文采用准连续介质（QC）法研究了镍压头与单晶铜基体之间的纳米粘着接触问题。首先，基于QC法建立了光滑表面接触模型，研究了接触过程中的微观变形机制。接触过程中接触边缘附近的基体出现了“挤出”现象。接触过程中，压头下方的铜基体内部形成的“面角位错”阻碍了铜基体内部位错的运动，弹性变形在整个接触过程中占主导地位。对接触载荷、接触半径-位移曲线和接触区域应力分布进行了详细的分析。此外，简要回顾了Hertz、Johnson-Kendall-Roberts （JKR）和Maugis-Dugdale（M-D）经典接触理论，并验证了这些经典理论在纳米接触问题中的适用性。综合分析表明， M-D理论能够较准确的描述纳米接触过程中接触半径与接触载荷之间的关系。由M-D理论获得的应力分布曲线与由QC法得到的曲线基本吻合。由于粘着效应的存在，在压头下方与铜基体非局部区域的相邻部分出现了一个较小的不规则的拉应力区。其次，采用QC法模拟分析了单粗糙峰接触过程的微观变形机制，接触模型中粗糙峰与压头的尺寸在一个量级上。研究了载荷-位移响应曲线和接触面积-载荷响应曲线。载荷-位移响应曲线存在大载荷突降和小载荷突降，它们对应两种不同变形机制。发生小载荷突降时基体内部形成新的位错，而大载荷突降发生时基体内部原先形成的位错被破坏，同时出现大量的原子迁移。对比分析表明，单粗糙峰有效削弱了压头与基体之间的粘着效应。由M-D理论得到的接触面积-载荷曲线与相应的QC曲线之间存在较大的差异，这是因为在接触过程中单粗糙峰发生了较大的塑性变形且存在大量的原子迁移，而M-D理论没有考虑这些因素，这意味着M-D理论不能用于描述单粗糙峰接触问题。最后，基于QC法，建立了压头初始位置在中间粗糙峰正上方（=0）和压头初始位置在左侧两粗糙峰之间的波谷正上方（=-L）的两个具有不同压头初始位置的多粗糙峰接触模型。模拟结果显示，这两个接触模型在接触过程中的微观变形机制不同。=0接触模型中基体的变形主要为孪晶变形，而=-L接触模型基体内部在接触过程中形成了许多间隔分布的“面角位错”，抑制了孪晶变形的发生。此外，在接触过程中这两个接触模型的基体变形都是不对称的。基于QC模拟结果，研究了光滑表面接触模型、=0接触模型和=-L接触模型的纳米硬度-位移响应曲线。最后，采用Oliver-Pharr方法估算了这三个模型在位移最大处基体的纳米硬度，并将估算结果与QC模拟结果进行了对比。结果表明，对于光滑表面接触模型，采用Oliver-Pharr方法估算基体的纳米硬度比QC结果要高30%左右。而对于多粗糙峰接触模型，Oliver-Pharr方法能较好的估算基体的纳米硬度，只有约5%的误差。同时，无论采用何种计算方法，=-L接触模型的基体硬度比=0接触模型中基体的硬度要高20%左右。
二、MEMS亟待解决的七个问题（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、MEMS亟待解决的七个问题（论文提纲范文）
（1）国有企业混合所有制改革实践问题研究（论文提纲范文）
| 1 十八大以来国企混合所有制改革进展情况 |
| 1.1 从中央到地方积极推进混改的力度较大 |
| 1.2 已混改企业实现了均衡合理的股比架构 |
| 1.3 企业市场化的激励约束机制进一步健全 |
| 1.4 核心主业更加突出及生产效率显着改善 |
| 1.5 地方企业混改的成果呈现两极分化趋势 |
| 1.6 混改的范围和改革力度尚需进一步加强 |
| 1.7 混改试点改革中暴露出的问题亟待破解 |
| 2 新一轮混合所有制改革特点及趋势判断 |
| 2.1 从资本到运营，从试点到全面“提效率” |
| 2.2 从行业到产业，从放权到授权“扩范围” |
| 3 我国国企混合所有制改革存在的问题 |
| 3.1 战略投资者选择原则和标准无依据 |
| 3.2 混改流程和程序规范性待完善 |
| 3.3 从形式到实质，从混合到改革“深融合” |
| 3.4 审计评估规则不明确 |
| 3.5 混改配套制度和市场化机制不健全 |
| 3.6 党建工作在混改中作用未充分发挥 |
| 4 深化国企混合所有制改革对策建议 |
| 4.1 明确投资战略者选择的原则和标准 |
| 4.1.1 有较强的改革意愿，并就有关重大问题能达成共识。 |
| 4.1.2 依法诚信经营，具有良好的市场声誉。 |
| 4.1.3 有技术或人才方面的战略价值，契合企业发展需要。 |
| 4.1.4 有资源或者要素优势，能助力混改企业战略发展。 |
| 4.1.5 投资者对企业经营管理的参与程度合理。 |
| 4.2 差异化设置混改企业股权改革路径 |
| 4.3 细化流程规则和强化程序的规范性 |
| 4.3.1 稳妥设计混改方案。 |
| 4.3.2 建立科学决策程序。 |
| 4.3.3 完善审计评估机制。 |
| 4.3.4 强化监督追责机制。 |
| 4.4 落实配套政策和健全市场经营机制 |
| 4.4.1 建立有效制衡的法人治理结构。 |
| 4.4.2 探索和创新员工持股实施操作路径。 |
| 4.4.3 建立和完善市场化职业经理人制度。 |
| 4.4.4 建立和完善混改企业市场退出机制。 |
| 4.5 充分发挥党建在混改工作中的作用 |
（2）基于智能终端的行为识别方法研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 专用术语注释表 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景与意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.3 基于智能终端的行为识别简介 |
| 1.3.1 采集原始数据 |
| 1.3.2 特征提取 |
| 1.3.3 常用分类器 |
| 1.4 本文研究内容 |
| 1.5 本文的结构安排 |
| 第二章 相关背景知识介绍 |
| 2.1 行为识别系统的设计原理 |
| 2.2 基于智能终端的人体行为识别 |
| 2.2.1 预处理和信号表示 |
| 2.2.2 分割 |
| 2.2.3 特征提取 |
| 2.2.4 降维 |
| 2.2.5 分类 |
| 2.3 分类器简介 |
| 2.3.1 随机森林 |
| 2.3.2 多层感知 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 一种适用于相似活动识别的方法 |
| 3.1 系统介绍 |
| 3.2 数据采集与处理 |
| 3.3 特征值提取 |
| 3.3.1 预处理 |
| 3.3.2 特征提取 |
| 3.4 最优特征集选取 |
| 3.5 分类器的选取 |
| 3.6 实验结果与分析 |
| 3.6.1 特征集的有效性 |
| 3.6.2 识别率 |
| 3.6.3 日常活动的识别 |
| 3.7 精简特征集 |
| 3.8 本章小结 |
| 第四章 适用于智能手表的跌倒检测算法 |
| 4.1 数据采集与处理 |
| 4.1.1 传感器佩戴位置 |
| 4.1.2 采样频率选择 |
| 4.2 特征值提取 |
| 4.2.1 数据预处理 |
| 4.2.2 阈值获取 |
| 4.3 阈值检测法 |
| 4.3.1 阈值选择 |
| 4.3.2 实验结果 |
| 4.4 阈值与随机森林结合的检测法 |
| 4.4.1 分类器的选择 |
| 4.5 实验结果 |
| 4.6 本章小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 参考文献 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 |
| 附录3 攻读硕士学位期间申请的专利 |
| 致谢 |
（3）表面微结构对表面润湿性和粘附性影响的分子动力学研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 纳米摩擦研究的背景和意义 |
| 1.1.1 纳米摩擦学的研究背景 |
| 1.1.2 研究材料表面微结构的意义 |
| 1.1.3 微结构表面制备方式 |
| 1.2 纳米摩擦学的研究方式 |
| 1.2.1 实验研究方法 |
| 1.2.2 计算机模拟方法 |
| 1.3 国内外对表面润湿性和粘附性的研究现状 |
| 1.3.1 表面润湿性能的研究进展 |
| 1.3.2 表面粘附性能的研究进展 |
| 1.4 课题主要研究内容 |
| 第二章 分子动力学模拟 |
| 2.1 分子动力学模拟基本步骤 |
| 2.1.1 粒子的空间位置初始化和速度初始化 |
| 2.1.2 选取分子间作用势 |
| 2.1.3 求解运动方程和选择调温方法 |
| 2.2 分子动力学模拟过程中的注意事项 |
| 2.2.1 边界条件的设定 |
| 2.2.2 位能截断 |
| 2.2.3 选择时间步长和确定弛豫时间 |
| 2.3 分子动力学模型验证 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 表面微结构对表面润湿性的影响 |
| 3.1 平整硅表面的润湿 |
| 3.2 表面润湿的方向性 |
| 3.2.1 各向同性的情况 |
| 3.2.2 各向异性的情况 |
| 3.3 表面微结构对表面润湿性的影响 |
| 3.3.1 微结构宽度对表面润湿性的影响 |
| 3.3.2 微结构深度对表面润湿性的影响 |
| 3.3.3 微结构形状对表面润湿性的影响 |
| 3.4 二级表面微结构对表面润湿性的影响 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 表面微结构对表面粘附性的影响 |
| 4.1 表面微结构对粘附性能的影响 |
| 4.1.1 平整表面粘附力 |
| 4.1.2 表面微结构尺寸对表面粘附性能的影响 |
| 4.1.3 表面微结构形状对表面粘附性能的影响 |
| 4.2 液相环境中表面微结构对表面粘附性能的影响 |
| 4.2.1 表面微结构对表面粘附性能的影响 |
| 4.2.2 表面水膜对表面粘附性能的影响 |
| 4.3 本章小结 |
| 第五章 总结和展望 |
| 5.1 总结 |
| 5.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 |
（4）MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿技术的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景与意义 |
| 1.2 MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿技术的国内外研究现状 |
| 1.3 论文组织结构 |
| 1.4 本章小结 |
| 第二章 MEMS陀螺仪的主要性能指标及Allan方差方法的介绍 |
| 2.1 MEMS陀螺仪的主要性能指标 |
| 2.2 Allan方差方法对MEMS陀螺仪随机漂移数据的分析评价 |
| 2.2.1 Allan方差方法的分析原理 |
| 2.2.2 Allan方差对主要噪声特性的分析 |
| 2.2.3 Allan方差的定义与计算 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 MEMS陀螺仪漂移信号的采集和处理 |
| 3.1 信号采集硬件系统的构建 |
| 3.2 采集系统的软件设计 |
| 3.3 数据的采集实验 |
| 3.4 采样结果及处理分析 |
| 3.4.1 数据信号的读取与处理 |
| 3.4.2 采样数据的Allan方差分析 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 基于时间序列的卡尔曼滤波方法在MEMS陀螺随机漂移误差补偿中的应用 |
| 4.1 时间序列模型的介绍 |
| 4.2 时间序列建模的步骤 |
| 4.3 时间序列的数据预处理 |
| 4.3.1 拉伊达准则去除奇异点 |
| 4.3.2 提取趋势项 |
| 4.3.3 预处理结果分析 |
| 4.4 时间序列数据的检验方法 |
| 4.4.1 平稳性检验 |
| 4.4.2 正态性检验 |
| 4.4.3 周期性检验 |
| 4.4.4 经预处理后的实验数据检验 |
| 4.5 时间序列模型的建立与参数识别 |
| 4.5.1 自相关系数和偏相关系数的计算和分析 |
| 4.5.2 时间序列模型的参数选择 |
| 4.5.3 模型的验证：白噪声检验 |
| 4.6 基于时间序列模型的卡尔曼滤波 |
| 4.6.1 卡尔曼滤简介 |
| 4.6.2 状态空间模型及建立 |
| 4.6.3 滤波初值的确定 |
| 4.6.4 数据处理结果 |
| 4.7 本章小结 |
| 第五章 AR与SVM支持向量机混合模型在MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿中的应用 |
| 5.1 AR与SVM支持向量机混合模型的应用 |
| 5.1.1 SVM支持向量机理论介绍 |
| 5.1.2 SVM支持向量机的理论基础 |
| 5.1.3 SVM支持向量机的建模 |
| 5.2 AR与SVM支持向量机混合模型的实验验证 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 作者简介 |
（5）基于接触几何的微纳米尺度下的粘着研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题的研究背景和研究意义 |
| 1.2 理论基础及国内外研究现状 |
| 1.2.1 表面力 |
| 1.2.2 连续介质接触力学模型 |
| 1.2.3 接触几何和粗糙度对粘着的影响 |
| 1.2.4 湿润性、粘着功和固体表面能 |
| 1.3 课题来源和主要研究内容 |
| 1.3.1 课题来源 |
| 1.3.2 课题的主要研究内容 |
| 第二章 基于接触几何的单峰接触粘着模型 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 单峰接触粘着模型 |
| 2.2.1 模型的建立 |
| 2.2.2 接触面积和粘着力 |
| 2.2.3 范德华力的求解 |
| 2.3 单峰接触粘着模型的数值解法 |
| 2.4 算例 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 用原子力显微镜测量粘着力和形貌的方法 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 原子力显微镜的结构和原理 |
| 3.3 原子力显微镜的探针及其标定 |
| 3.4 测量表面形貌的方法 |
| 3.5 测量粘着力的方法 |
| 3.6 辅助设备和装置 |
| 3.6.1 手套箱 |
| 3.6.2 液相模式的装置 |
| 3.6.3 样品加热系统 |
| 3.6.4 除静电装置 |
| 3.7 本章小结 |
| 第四章 两平面间微观粘着的扫描探针研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 实验方法 |
| 4.3 结果与讨论 |
| 4.3.1 样品表面粗糙度 |
| 4.3.2 样品表面自由能 |
| 4.3.3 测量次数对粘着的影响 |
| 4.3.4 最大法向载荷对粘着的影响 |
| 4.3.5 停留时间对粘着的影响 |
| 4.3.6 不同环境下的粘着力 |
| 4.3.7 真实接触面积的估计 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 平面与粗糙表面接触的微观粘着的温度效应 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 实验方法 |
| 5.3 结果与讨论 |
| 5.3.1 温度对法向弹性系数的影响 |
| 5.3.2 温度对粘着的影响 |
| 5.4 本章小结 |
| 第六章 基于不同接触几何的等高粗糙表面粘着力的实验研究 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 实验方法 |
| 6.3 结果与讨论 |
| 6.3.1 样品表面能 |
| 6.3.2 不同接触几何下的粘着行为 |
| 6.4 本章小结 |
| 第七章 基于不同接触几何的类金刚石膜减粘性的实验研究 |
| 7.1 引言 |
| 7.2 实验方法 |
| 7.3 结果与讨论 |
| 7.3.1 DLC 膜的表征 |
| 7.3.2 样品形貌分析 |
| 7.3.3 表面能分析 |
| 7.3.4 DLC 膜的减粘性 |
| 7.4 本章小结 |
| 结论与展望 |
| 主要工作和结论 |
| 创新点 |
| 展望 |
| 参考文献 |
| 附录1 单峰接触粘着模型的 FORTRAN 程序 |
| 附录2 统计粘着力的 FORTRAN 程序 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 |
| 致谢 |
| 附件 |
（6）MEMS开关关键技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 目录 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 微机电系统 |
| 1.1.1 微机电系统概念及特点 |
| 1.1.2 MEMS技术国内外研究动态 |
| 1.1.3 MEMS技术的应用 |
| 1.2 MEMS微开关技术的发展和研究现状 |
| 1.2.1 MEMS微开关发展概况 |
| 1.2.2 常见MEMS微开关工作原理 |
| 1.2.3 微开关设计与研制中面临的关键问题 |
| 1.3 论文的研究目的及主要工作 |
| 1.3.1 论文的研究目的 |
| 1.3.2 论文的主要工作 |
| 第二章 微开关触点弹性接触特性研究 |
| 2.1 概述 |
| 2.2 触点黏着模型 |
| 2.2.1 Lennard-Jones势能定理和Harmaker假设 |
| 2.2.2 单原子-球体黏着接触力 |
| 2.2.3 球体-平面黏着接触力 |
| 2.2.4 球体-平面黏着接触的弹性模型 |
| 2.3 洁净金属触点的接触研究 |
| 2.3.1 接触表面黏着力和变形 |
| 2.3.2 洁净金属触点弹性接触研究 |
| 2.3.3 黏着和无黏着接触模型对比分析 |
| 2.4 污染表面接触研究 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 微开关触点弹塑性接触特性研究 |
| 3.1 概述 |
| 3.2 弹性和塑性接触区域及应力应变研究 |
| 3.2.1 塑性接触基本假设 |
| 3.2.2 弹性-塑性变形接触应力分析 |
| 3.2.3 塑性变形区域的确定 |
| 3.3 洁净触点闭合过程动态模拟 |
| 3.3.1 弹-塑性模型应力应变关系及屈服极限的确定 |
| 3.3.2 弹-塑性模型接触应力研究 |
| 3.3.3 弹-塑性模型接触力研究 |
| 3.3.4 弹-塑性模型接触面积研究 |
| 3.4 污染触点塑性接触研究 |
| 3.4.1 污染触点应力分析 |
| 3.4.2 污染接触点接触面积研究 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 金属表面电接触研究 |
| 4.1 概述 |
| 4.2 微开关电接触问题提出 |
| 4.3 隧道电流理论 |
| 4.3.1 矩形势垒下电极间隧道电流密度 |
| 4.3.2 典型模型的隧道电流密度计算公式 |
| 4.3.3 球形触点隧道电流计算 |
| 4.4 刚性触点电接触研究 |
| 4.4.1 刚性圆柱体触点电接触研究 |
| 4.4.2 刚性球体和刚性平面电接触研究 |
| 4.5 弹-塑性模型电接触研究 |
| 4.5.1 弹塑性电接触模型 |
| 4.5.2 刚性球体和弹性-塑性平面电接触仿真分析 |
| 4.6 粗糙表面的接触电阻研究 |
| 4.6.1 粗糙表面模型 |
| 4.6.2 粗糙表面电接触仿真分析 |
| 4.6.3 弹-塑性电接触计算结果与实验对比 |
| 4.7 本章小结 |
| 第五章 永磁微小型加速度开关设计与分析 |
| 5.1 概述 |
| 5.2 受控于加速度阈值的开关结构和工作原理 |
| 5.3 永磁体的磁力计算 |
| 5.4 空气阻尼计算 |
| 5.4.1 谐波扰动下阻尼力的计算 |
| 5.4.2 阻尼力的叠加 |
| 5.4.3 任意运动状态下矩形平板所受空气阻尼力计算 |
| 5.5 开关静态设计原则 |
| 5.6 开关动力学分析模型 |
| 5.6.1 开关初始状态 |
| 5.6.2 加速度激励下开关动力学模型 |
| 5.6.3 开关断开状态动力学模型 |
| 5.7 微加速度开关工作过程的动态仿真 |
| 5.7.1 设计参数 |
| 5.7.2 开关的动态仿真 |
| 5.7.3 微加速度开关结构参数正交设计 |
| 5.7.4 微加速度开关接触压力的极差与方差分析 |
| 5.8 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 主要工作与结论 |
| 6.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻读博士学位期间的研究成果 |
| 学术论文 |
| 参加的科研项目 |
（7）新型Z轴差分电容式加速度传感器研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 致谢 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 MEMS 的基本概念 |
| 1.2 MEMS 的应用领域 |
| 1.3 MEMS 传感器的发展历程 |
| 1.3.1 MEMS 传感器的技术背景 |
| 1.3.2 国内外 MEMS 传感器的研究现状 |
| 1.4 本文研究的目的和内容 |
| 第二章 MEMS 加速度传感器的类型和工作原理 |
| 2.1 MEMS 加速度传感器的类型 |
| 2.1.1 压阻式 |
| 2.1.2 电容式 |
| 2.1.3 压电式 |
| 2.1.4 隧道电流式 |
| 2.1.5 谐振式 |
| 2.2 MEMS 加速度传感器的基本原理 |
| 2.2.1 工作原理 |
| 2.2.2 线加速度传感器的基本数学模型 |
| 2.2.3 摆式加速度传感器的基本数学模型 |
| 2.3 MEMS 加速度传感器挠性梁的设计 |
| 2.4 电容式加速度传感器结构选择 |
| 2.4.1 梳齿式定齿均置结构 |
| 2.4.2 梳齿式定齿偏置结构 |
| 第三章 MEMS 传感器的制备工艺 |
| 3.1 集成电路工艺基础 |
| 3.1.1 晶片清洗 |
| 3.1.2 光刻工艺 |
| 3.1.3 薄膜淀积 |
| 3.2 体微加工技术 |
| 3.2.1 湿法刻蚀 |
| 3.2.2 干法刻蚀 |
| 3.2.3 去胶 |
| 3.3 表面微加工技术 |
| 3.4 LIGA 技术 |
| 3.5 MEMS 与 IC 工艺集成 |
| 第四章 梳齿结构力学分析 |
| 4.1 卡西米尔力 |
| 4.1.1 卡西米尔的概念 |
| 4.1.2 金属板间的卡西米尔力及做功 |
| 4.1.3 卡西米尔力对 MEMS 加速度传感器性能的影响 |
| 4.2 静电场与电场力 |
| 4.2.1 无限大平行板电容器模型 |
| 4.2.2 非平行平板电容器的电容计算 |
| 4.2.3 边缘效应 |
| 4.2.4 边缘效应计算方法的对比与分析 |
| 第五章 Z 轴差分电容式加速度传感器的结构设计与分析 |
| 5.1 结构设计与分析 |
| 5.1.1 数学模型 |
| 5.1.2 检测原理 |
| 5.1.3 电容变化理论分析 |
| 5.2 有限元分析 |
| 5.2.1 结构尺寸及整体建模 |
| 5.2.2 灵敏度仿真分析 |
| 5.2.3 模态和谐响应分析 |
| 第六章 总结 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士期间发表的论文 |
（8）基于惯性传感系统的人员行进分析及位移计算（论文提纲范文）
| 中文摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 前言 |
| 1.1 课题研究背景 |
| 1.2 研究内容 |
| 1.3 本文结构 |
| 第二章 基于微机电机械系统（MEMS）的动作识别 |
| 2.1 实验开发板简介 |
| 2.2 静止状态分析 |
| 2.2.1 加速度数据分析 |
| 2.2.2 角速度数据分析 |
| 2.2.3 磁力数据分析 |
| 2.3 标准步行动作识别 |
| 2.3.1 腿部 MEMS 步行参数分析 |
| 2.3.1.1 加速度和角速度数据分析 |
| 2.3.1.2 基于 Z 轴角速度数据的单步过程分解 |
| 2.3.1.3 磁力数据分析 |
| 2.3.2 腰部 MEMS 步行参数分析 |
| 2.3.2.1 加速度和角速度数据分析 |
| 2.3.2.2 磁力数据分析 |
| 2.3.3 腰部 MEMS 和腿部 MEMS 步行 Z 轴角速度比较 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 基于腿部 MEMS 的步行位移计算 |
| 3.1 腿部 MEMS 步行位移计算原理 |
| 3.2 腿部 MEMS 步长算法验证 |
| 3.2.1 相邻两步间 ZUPT 点的选择 |
| 3.2.2 ZUPT 点初始角度的选择（θ(0)的选择） |
| 3.2.3 ZUPT 点初始速度的选择（v_x(0)的选择） |
| 3.2.4 ZUPT 点初始位移的选择（S_x(0)的选择） |
| 3.3 实验结果统计分析 |
| 3.4 垂直方向位移的计算 |
| 3.5 圆锥摆对行进位移的影响分析 |
| 3.6 本章小结 |
| 第四章 基于腰部 MEMS 的步行位移计算 |
| 4.1 MEMS 置于腰部的原因 |
| 4.2 行进过程的腰部运动模型 |
| 4.3 腰部 MEMS 计算原理 |
| 4.4 实验方法 |
| 4.4.1 测试者和测试条件 |
| 4.4.2 实验方法 |
| 4.5 实验结果统计与分析 |
| 4.5.1 行进位移总长及误差分析 |
| 4.5.2 单步平均步长及误差分析 |
| 4.6 腰部 MEMS 算法优缺点分析 |
| 4.7 本章小结 |
| 第五章 基于 SVM 的上下楼动作分析比较 |
| 5.1 SVM 基本知识介绍 |
| 5.1.1 SVM 基本概念和基本原理介绍 |
| 5.1.2 SVM 主要思想及特征 |
| 5.2 上楼和下楼动作数据分析 |
| 5.3 SVM 识别上楼和下楼动作测试 |
| 5.3.1 测试方法 |
| 5.3.2 特征值选择 |
| 5.3.3 SVM 相关函数参数选择 |
| 5.4 测试结果及分析 |
| 5.5 本章小结 |
| 第六章 总结和展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 发表论文和科研情况说明 |
| 致谢 |
（9）基于腰部移动模型的行走步长计算方案（论文提纲范文）
| 1 引言 |
| 2 MEMS简介 |
| 3 步行腰部运动模型及算法原理 |
| 3.1 腰部运动模型 |
| 3.2 算法原理 |
| 4 实验方法和结果分析 |
| 4.1 实验方法 |
| 4.2 行进位移总长及误差分析 |
| 5 结论 |
（10）MEMS纳米接触的多尺度分析（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 微电子机械系统的概述 |
| 1.2 微电子机械系统的国内外研究现状 |
| 1.3 微电子机械系统中的纳米接触问题 |
| 1.4 微电子机械系统纳米接触的主要研究方法与现状 |
| 1.5 主要研究内容 |
| 第二章 多尺度准连续介质法 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 准连续介质的简介 |
| 2.2.1 原子建模 |
| 2.2.2 准连续介质法的实现 |
| 2.3 准连续介质法的应用和主要发展方向 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 楔形压头与光滑表面基体之间的纳米接触过程 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 光滑表面接触模型 |
| 3.3 模拟结果与分析 |
| 3.3.1 载荷-位移响应曲线和接触半径-位移响应 |
| 3.3.2 原子分析 |
| 3.4 讨论 |
| 3.4.1 经典接触模型的二维推广 |
| 3.4.2 接触半径-载荷响应 |
| 3.4.3 接触应力分布 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 楔形压头与粗糙表面基体之间的纳米接触过程 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 单粗糙峰接触模型 |
| 4.2.1 计算模型介绍 |
| 4.2.2 模拟结果与讨论 |
| 4.3 多粗糙峰表面接触模型 |
| 4.3.1 计算模型介绍 |
| 4.3.2 模拟结果与讨论 |
| 4.4 小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 5.1 总结 |
| 5.2 展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 |
| 致谢 |
四、MEMS亟待解决的七个问题（论文参考文献）
- [1]国有企业混合所有制改革实践问题研究[J]. 李红娟. 产权导刊, 2021(04)
- [2]基于智能终端的行为识别方法研究[D]. 闫娜. 南京邮电大学, 2019(02)
- [3]表面微结构对表面润湿性和粘附性影响的分子动力学研究[D]. 郭亚杰. 东南大学, 2015(08)
- [4]MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿技术的研究[D]. 霍元正. 东南大学, 2015(08)
- [5]基于接触几何的微纳米尺度下的粘着研究[D]. 赖添茂. 华南理工大学, 2014(11)
- [6]MEMS开关关键技术研究[D]. 朱应敏. 西安电子科技大学, 2013(06)
- [7]新型Z轴差分电容式加速度传感器研究[D]. 韩成成. 合肥工业大学, 2013(03)
- [8]基于惯性传感系统的人员行进分析及位移计算[D]. 任凯天. 天津大学, 2012(08)
- [9]基于腰部移动模型的行走步长计算方案[J]. 任凯天,刘昱,汪少初. 电子测量与仪器学报, 2012(08)
- [10]MEMS纳米接触的多尺度分析[D]. 王正微. 南昌航空大学, 2012(01)